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第837章 伟大的发明（第1页）

李云海和李娟，来到纪文姝办公室。

倪教授等人都在。

纪文姝一看到李云海，便激动的大喊道：“李总！我成功了！我终于不负你的重望，我研究出了浸润式光刻机！”

李云海哈哈笑道：“恭喜你，纪总！我早就说过，你一定可以成功的！”

大家一起鼓掌，祝贺纪文姝。

纪文姝抑制不住，双手捧着脸，流下了幸福的泪水。

花了这么多年的时间，才研制成功，这里面的辛酸苦辣，个中滋味，只有当事人自己才能明白。

李云海轻轻拍了拍纪文姝的肩膀，笑道：“不要哭，大喜的日子！今天晚上，我们聚餐！对了，纪总，这个项目成功了，我要奖励你和你的团队一千万现金！”

全场发出一声哇的的惊呼，然后大声叫好。

纪文姝果然不哭了，扑哧笑道：“一千万啊？太多了吧？”

李云海道：“你还嫌多啊？那我减半？”

纪文姝连忙说道：“别别别，又不是我一个人得，大家都要分的嘛！李总，我带你们去看看机器。”

李云海点头称好。

大家来到试验室。

现在发明的浸润式光刻机，还只是在试验室里成功，要将这个技术，变成可以量产的项目，还得花费一些时间。

浸润式光刻机的原理，是在晶圆上方加入一层水，并使用深紫光线光源的光刻机。

当深紫外光通过水折射时，193n波长，就会变成134n，从而提高光刻精度。

除浸润式系统外，其它结构与普通非浸润式光刻机相似。

以前的四海集团，本就拥有相关的光刻机技术。

物镜系统是国产浸润式光刻机的难点。

好在李云海早就做了准备。

在ASML还没有发动研究的时候，李云海就已经与卡尔蔡司达成合作，而且是独家合作！

也就是说，卡尔蔡司只能和四海集团一起开发相关的物镜系统。

目前国际上最先进的物镜系统，只能达到90n。

李云海的眼光放得更长远，他要求三江科研院，尽快取得更大的突破。

不过，目前来看，90n已经够用很长一段时间了。

科技的发展，本就是挤牙膏一样，慢慢的成长，而不是一蹴而就。

工作台是浸润式光刻机中不太困难的部份。

原来的四海科研院，就已经研制出工作台，经过纪文姝团队的改良之后，现在已经实现了134n的精度控制。

因此对于浸润式光刻机而言，工作台的问题基本解决了。

浸润式系统由控制软件、液态传感器和控制器等组成。

三江科研院，在浸液控制系统上取得了重大突破，为浸润式光刻机的实现奠定了基础。

国产浸润式光刻机的实现，我国就有能力制造更高级别的芯片！

包括以后的14n和7n芯片！

如此一来，我们可以大大减少对进口设备的依赖。

浸润式光刻机的突破为我国芯片制造业提供了很大的希望。

只要物镜系统能够实现突破，完全国产化的浸润式光刻机就可以实现，从而使以后7n芯片的全国产化变得不那么困难。

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