手机浏览器扫描二维码访问
第181章 救星来了（第1页）
临安，苏省大学微电子学院。
“通入六甲基二硅胺烷……”
“硅片脱水完成，增粘处理完成，开始旋转涂胶。”
“……”
这已经是他们不知道进行了多少次的实验流程了，除了操作员时不时进行流程汇报之外，实验内悄然无声。
数十名研发人员都静静地坚守着自己的岗位，偶尔抬头看一眼设备运行情况，以及站在操控台中间的那位老人。
“涂胶检测完毕，未发现气泡，开始曝光前烘……前烘完毕，光刻机准备曝光……”
在实验有条不紊的推进中，终于到了曝光环节。
每次进入曝光环节，那短短的十秒钟，都让吴利鸿感觉像一个世纪那么长……
而在曝光的过程中，加装在工件台的的测量仪器也在同时进行疯狂的数据收集。
“曝光结束，进入后烘环节，曝光数据正在分析中……”
“曝光过程总产气量……”汇报结果的研究员停顿了一下，然后用颤抖的语气念出了数值，“289立方纳米！”
哗——！
听到这个结果，整個实验室都顿时安静了下来，随后便是阵阵惊呼声。
“竟然真是光致产酸剂br-侧键的问题！”
“吴院士牛逼啊！”
“……”
虽然后烘的具体数据还没出来，但光是这个产气量的数据，就已经称得上是史无前例的重大突破了！
涂满12寸的硅片光刻胶，在曝光的过程中，才产出了仅仅289立方纳米的气体，
而这么小的产气量，光刻胶的曝光边缘肯定非常光滑平整。
这就意味着更高的清晰度，以及更低的制程。
可以说，他们已经彻底解决了光刻胶最棘手的产气量问题！
吴利鸿听到这个数据后，脸上也不禁浮现起了一抹如释重负的笑容，但这却让他的脸上的皱纹褶子更多了……
过了大约十分钟，曝光后的硅片也已经完成了后烘，并对曝光部分的光刻胶进行了溶解清除，然后又进行了一次坚膜烘焙，加固光刻胶形成的电路保护膜。
接下来，就是他们这个实验环节最重要的电路图像清晰度分析了。
而最终的分析结果也果然不出他们所料，在降低了98的产气量后，他们得到的电路保护膜，表面非常光滑平整，没有出现任何坍塌变形！
“膜厚正常，套刻精度正常！”
听到这个结果，所有人顿时都激动的看着吴利鸿。
事实上实验进行到了这一步，已经基本可以肯定他们的euv光刻胶，已经达到了135纳米的制程标准。
因为他们苏省微电子的所有精力，都用来研发光刻胶了，对多重曝光等压缩制程的工艺，没有太多的研究，所以135纳米只是他们研究所的最小制程工艺。
而这款光刻胶具体的最小制程，得找申城硅产业或者立昂微来做进一步的验证，尤其是最早拿到euv光刻机的申城硅产业，经过这几个月的摸索调试，他们已经把制程工艺推到了5n。
不过为了稳妥起见，吴利鸿还是按捺住激动的心情，对大家开口道：“立即准备蚀刻实验验证，确认最后的环节没问题再送到申城硅产业去。”
“明白！”
研究员们听到后，顿时又开始忙碌了起来。
本来按照他们之前的实验流程，实验到了这一步基本就是失败了，这次其实根本就没有做好进入蚀刻环节的准备。
但面对这个意想不到的巨大惊喜，大家却没有一丝‘临时加班’的怨言，一个个都吭哧吭哧地开始重新准备实验。
斗罗：从极北走出的我有点无敌 我叫熊霸天 黑暗曙光：我在废土庇护众生 综漫：从尸魂界开始砍穿万界 寒流求生：从小木屋开始抽奖 虚拟重构游戏 我独自超凡 时空长河的旅者 全民进化：我能提前领取额外奖励 末世避难所，我有拼夕夕无限强化 影视：庆余年，开局签到大雪龙骑 传承仁爱高斯奥特曼，武器万魂帆 一人，修改词条，老天师龟派气功 人类污蔑光之巨人，当这是女频？ 提前登陆五百年，我靠挖宝成神 废土悠闲人生 吞噬星空，我维妮娜绝不居于人下 人在美漫，但是野蛮人 港片：你洪兴仔，慈善大王什么鬼 让你拍小破球，你造行星发动机？
发个微信去天庭
当秦奋手机微信摇出了天庭朋友圈，他发现自己的人生变了，但天庭的变化更惊悚。想要金点子，行，拿东西来换，我不挑食。超市，串串香，等一系列熟悉的东西对原有的天庭造成了冲击。秦奋看着天庭的物产，发现自己似乎要发了。种田，数钱，好多事要做。我是先吃蟠桃呢，还是九转金丹。签已过，人品嘛，我很有节操可以吗？求点求收求票票，求包...
田野花香(乡村猎艳)
陈炎是一个混得极度没出息的大学生，阴差阳错的在阳台上喝着闷酒的时候被一个中年人吓得掉下楼下，醒来的时候却发现是在自己的高中时代。经历了惨败的婚姻和现实的残酷，陈炎决定好好的利用自己机会推倒所有的美女，清纯的学生妹，只知道埋头读书的校花MM，风骚无比的成熟美妇，饥渴了N多年的迷人寡妇。重生了，干那么多大事有什么用！手里掐着钱去糟蹋别人的闺女和老婆才是王道！...
功夫皇帝逍遥游(功夫皇帝艳福星)
一个落魄的大学生阴差阳错地灵魂穿越到了古代，稀里糊涂地做了皇子，又发动政变赶走太子当上了皇帝，从此便过上了锦衣玉食声色犬马的生活。但他却不满足，他要做一个全能型的功夫皇帝因此，他拜武林宗师学习武功，又向江湖术士讨取御女秘方，美艳绝伦的妃子欲望强烈的宫女温婉恬静的皇后妖艳迷人的异族美女野性十足的江湖侠女，各种类型的美女纷纷被他男人的功夫征服金钱权利和美女一个都不能少！想爽的，还等什么呢？本书保证精彩，敬请放心收藏，推荐！...
星际工业时代
新书宇宙乾坤塔已经发布，可以开宰了第一次工业革命，蒸汽机将大英帝国变成了日不落帝国第二次工业革命，内燃机推动历史的车轮，电灯照亮漆黑的夜晚第三次工业革命，互联网将我们的星球变成了地球村大学生秦毅走运获得了科技塔，掀开了星际工业时代，从此以后太阳系变成了我们的后花园我们在太空之中发展农业兴建太空工厂我们在月...
天美地艳男人是山
从农村考入大学的庾明毕业后因为成了老厂长的乘龙快婿，后随老厂长进京，成为中央某部后备干部，并被下派到蓟原市任市长。然而，官运亨通的他因为妻子的奸情发生了婚变，蓟原市急欲接班当权的少壮派势力以为他没有了后台，便扯住其年轻恋爱时与恋人的越轨行为作文章，将其赶下台，多亏老省长爱惜人才，推荐其参加跨国合资公司总裁竞聘，才东山再起然而，仕途一旦顺风，官运一发不可收拾由于庾明联合地方政府开展棚户区改造工程受到了中央领导和老百姓的赞誉。在省代会上，他又被推举到了省长的重要岗位。一介平民跃升为省长...
新风领地
...