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创新集成电路公司坐落在甬波国家高新技术产业开发区,是集成电路科技园的主力企业。
厂区占地面积不大,但建筑密度很高,看得出是土地集约利用的思路。
主楼是一栋六层的灰色建筑,外立面简洁,没有任何多余的装饰,只有大门上方嵌着公司的l0g0——一个抽象的晶圆图案,线条利落。
公司负责人凌敬山已经在门口等着了。
四十岁左右,中等身材,头发梳得一丝不苟,穿着深蓝色的工装,胸口别着工牌。
他快步迎上来,双手握住董远方的手,力道很大。
“董主任,欢迎欢迎!盼星星盼月亮,总算把你们盼来了。”
董远方笑了笑:
“凌总客气了,我们就是来看看情况,听听企业的真实声音。”
凌敬山引着他们进了厂区。
参观通道设在二楼,透过落地玻璃窗可以俯瞰整个生产车间。
车间里灯火通明,身穿白色无尘服的技术人员在设备间穿梭,机械臂在封闭的腔体内精准地运转,整个过程几乎看不到什么人工干预。
凌敬山站在玻璃窗前,指着下面的生产线开始介绍。
说到技术参数的时候,他的语速明显加快了,眼睛也亮了起来,像是一个父亲在介绍自己引以为傲的孩子。
“我们公司专注于第三代半导体材料,主要是碳化硅和氮化镓。碳化硅功率器件在高温、高频、高压工况下的性能,比传统硅器件要好得多。新能源汽车、4g基站、光伏逆变器,这些领域的需求正在爆发式增长。”
董远方边听边点头,赵一鸣在旁边飞快地记着笔记。
但接下来凌敬山的话锋一转,语气里的兴奋渐渐被一种沉重的无奈取代。
“董主任,国内微管密度、平整度、均匀性,跟国外比差一个数量级。”
凌敬山指着下面一片正在运转的设备,声音压低了一些:
“碳化硅衬底的良率,我们只有30到50,国外可以做到80以上。这意味着什么?同样的原材料,同样的设备,我们生产出来的合格产品只有人家的一半多,成本自然就上去了。”
他顿了顿,又补充道:
“晶圆开裂、外延缺陷、掺杂均匀性,每一个环节都是坎。我们的技术人员已经连续攻关了两年多,但碳化硅功率芯片的良率,到现在还是只有35左右。”
董远方听着,眉头微微皱了起来。他侧过头问:
“凌总,主要瓶颈在哪个环节?”
“衬底。”
凌敬山回答得毫不犹豫:
“碳化硅衬底是整个产业链的根基,衬底的质量直接决定了后续外延和器件的性能。但碳化硅是硬脆材料,莫氏硬度95,仅次于金刚石。切割、研磨、抛光,每一个工序都极其困难。我们现在用的切割设备,核心部件还是进口的,一台设备就要上千万,还要受制于人家的出口管制。”
他说着叹了口气,目光落在车间里那些忙碌的设备上,像是在看一群被困在笼子里的猛兽。
“董主任,我不怕跟您说实话。”
凌敬山转过身来,看着董远方,眼神里有种复杂的情绪,有焦虑,有不甘,也有一种近乎固执的坚持。“我们公司成立八年了,前五年一直在亏钱,股东们骂了我五年。但从去年开始,新能源汽车的订单起来了,我们总算看到了希望。可如果我们一直解决不了良率和成本的问题,等到国外大厂产能释放的那一天,我们拿什么跟人家竞争?”
董远方沉默了几秒,然后缓缓点了点头。
他没有急着安慰凌敬山,也没有给出任何空洞的承诺。
他只是说:
“凌总,你们正在做的事情,是国家需要的事情。这次摸底,就是要找出像你们这样的企业,把真实的情况摸清楚,把问题的症结找出来。你刚才说的这些,包括设备进口受限、良率提升困难、成本居高不下,都要原原本本地写进报告里。”
凌敬山眼眶微微泛红,用力地点了点头。
走出车间的时候,天色已经暗了下来。
厂区里的路灯亮了,橘黄色的光洒在灰色的水泥路面上,拉出长长的影子。远处传来机器运转的低沉嗡鸣,像是一头巨兽沉稳的呼吸。
董远方站在厂门口,深深吸了一口气。
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