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实验室中所有人都动了起来,陈辉也没有闲着,他已经在继续观察实验数据了。
似乎对于实验结果一点也不关心的样子。
他并没有关注机器学习模型的问题,刚才鄂老已经跟他简单介绍过了,他们对缺陷样本采用几何变换和物理模拟的方式来平衡样本分布。
使用迁移学习,将碳化硅缺陷检测预训练模型迁移至氧化镓,采用元学习,让模型从少量缺陷样本中快速学习特征比如位错的线缺陷方向,再结合主动学习,主动标记“难样本”,引导工程师补充高价值数据等一系列手段。
已经取得了一些成效。
鄂维南院士是机器学习方面的专家,陈辉没有过多插手,他相信这些问题很快就能被解决。
陈辉看向了另一个问题,在导模法生长中,熔体流动影响温度梯度,温度梯度又导致晶体应力,使得最后生成晶体缺陷密度过高,成为废品。
而这个问题又涉及到温度场、流场、应力场、电场的多物理场耦合,
如果仅考虑温度场的FEA模型预测的晶界缺陷密度为10cm,但实际因熔体对流扰动,缺陷密度达3×10cm。
所以想要得到比较准确的数据,就需要协同求解。
其中温度场涉及热传导方程,流场涉及纳维斯托克斯方程,应力场涉及弹性力学方程,这些方程原本在各自的领域就已经足够复杂,现在需要协同求解,无疑是难上加难。
当然,这里的求解跟数学上纳维斯托克斯方程并不是同一个概念,在数学研究中,求解纳维-斯托克斯方程的目的是为了探索方程本身的性质,如解的存在性、唯一性和光滑性。
这通常涉及到复杂的数学分析和证明,如使用巴拿赫不动点定理等高级数学工具。
但在应用中求解,纳维-斯托克斯方程的主要目的是为了预测和模拟流体的运动行为,求的是近似数值解,满足工程精度即可,不追求严格数学证明。
可以说跟陈辉正在研究的问题并没有太大的联系,但毫无疑问,若是陈辉能够完成NS方程数学解的证明,将会对工程应用中的近似解求解产生巨大的好处,甚至带来划时代的颠覆。
收敛思绪,回到眼前的问题,陈辉在脑海中回顾整个实验过程,NS方程描述流体的动量守恒,热传导方程描述能量输运,弹性力学方程描述应力-应变关系,而在氧化镓晶体圆生长过程中,三者强耦合,根本无法独立求解。
熔体流动通过对流换热引起温度梯度,改变局部热膨胀系数,诱发热应力,产生从流场到温度场的耦合。
温度不均匀导致材料热膨胀收缩差异,晶圆生长中籽晶与熔体界面,产生热应力,温度场又影响到了应力场。
晶体生长过程中,固液界面附近的应力可能改变熔体粘度,位错周围的应力场影响扩散系数,甚至诱导流动扰动比如晶体旋转时的离心力,应力场又会影响到流场。
这种“双向强关联”导致传统单场求解器无法直接扩展,需处理非线性项的交叉耦合,NS方程中的粘性应力与应力场的粘性耦合。
氧化镓熔体生长中,热应力可能使熔体表面产生波动,进而改变熔体-气体界面形状,影响气体保护效果,例如氧含量波动),形成“流场-温度场-应力场-化学场”的多级耦合。
三者之间相互依存,想要准确的预测,只能同步求解三个方程,即三者每求解一步都需要进行数据交换,如此嵌套求解,或许才能提高最后预测值的精准度。
但三个方程原本就已经足够复杂,如此嵌套之后,求解难度呈指数上升,并且在数据交换过程中,各场的数据同样会变化,很难得到精确的预测值,这也是鄂老他们到现在都还没能解决的原因。
这个问题完全可以通过松-紧偶尔协同求解,以此来降低求解难度,减少计算量和数据交换导致数据延迟,陈辉开始在草稿纸上进行推演。
所谓松耦合,是指各场独立求解,通过低频次的数据交换,比如每10步流场计算后更新一次温度场,降低计算量,可以在耦合较弱的场景中使用,比如在稳态生长后期,流场、温度场已趋于稳定的时候。
所谓紧耦合,采用“嵌套迭代”或“统一时间步长”,在每个全局时间步内多次迭代各场方程,直至残差满足精度要求,适用于强耦合场景,比如熔体流动剧烈、温度梯度大的生长初期。
松-紧协同的方法在工程中很常用,鄂维南院士他们之所以到现在还没解决,无非是没能设计出场间数据传递接口,没有找到高效的收敛判据。
恰巧,这些都是陈辉擅长的。
不过到此问题也并没有完全解决,想要完成紧偶尔同步嵌套,还需要统一各场的时空尺度,可困难的是,不同物理场的特征时空尺度差异显著。
熔体流动的特征时间尺度为毫秒级,在导模法中熔体流动速度约0.1ms,特征长度0.1mm,时间尺度τ≈1ms。
热扩散的特征时间尺度为秒级,在氧化镓热扩散率约10^6m2s,特征长度1mm,时间尺度τ≈1s。
晶体生长的特征时间尺度为小时级,8英寸晶圆生长周期约2小时,但应力松弛的时间尺度可能短至分钟级,比如位错运动的时间尺度。
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